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組裝式潔凈室在半導(dǎo)體行業(yè)中的應(yīng)用

Release Time:2020.09.15 Read:916

5月15日,美國商務(wù)部發(fā)表了《商務(wù)部針對華為削弱實體清單的努力,限制使用美國技術(shù)設(shè)計和生產(chǎn)的產(chǎn)品》的文章,正面針對華為公司出臺出口管制,全球半導(dǎo)體生產(chǎn)企業(yè)若為華為生產(chǎn)芯片,均需要獲得美國許可。

 

此規(guī)定對華為以及為華為生產(chǎn)半導(dǎo)體芯片的制造商來說都是巨大打擊,華為公司也針對此次管制發(fā)布聲明,強烈反對美國商務(wù)部這種僅針對華為的直接產(chǎn)品規(guī)則修改。中國商務(wù)部也表示將采取一切必要措施,堅決維護中國企業(yè)的合法權(quán)益。

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近些年,中國半導(dǎo)體行業(yè)發(fā)展迅速,很多晶圓代工廠拔地而起,但作為廠商對美國應(yīng)用材料和設(shè)計、技術(shù)的依賴性很強。潔凈室作為半導(dǎo)體行業(yè)生產(chǎn)的所需場所,受半導(dǎo)體晶圓代工廠的興建熱潮的催動,在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用、市場占比也隨之增加。此次美國針對華為的管制致使臺積電等企業(yè)對華為訂單無能為力,也有可能從側(cè)面刺激中國半導(dǎo)體企業(yè)的自強發(fā)展,中芯國際、海思等中資半導(dǎo)體行業(yè)翹楚紛紛加大了技術(shù)研發(fā)的占比,盡管道路坎坷,但以華為為代表的中國企業(yè)、中國半導(dǎo)體以及與半導(dǎo)體生產(chǎn)息息相關(guān)的潔凈室行業(yè)還是滿懷希望,畢竟只有勝利才是出路。

 

說回到半導(dǎo)體與潔凈室之間的關(guān)系,為什么半導(dǎo)體、芯片生產(chǎn)須在潔凈室內(nèi)生產(chǎn)呢?由于半導(dǎo)體工業(yè)所制作的積體電路元件尺寸越來越小,眾多元件集中在一塊小小的晶片之上,因此在生產(chǎn)過程中須要阻斷外界各種污染源,因為這些雜質(zhì)、污染源會造成元件性能的劣化及可靠度降低,導(dǎo)致芯片良率下降,所以在半導(dǎo)體芯片的制作過程中須要在一個潔凈度管控的環(huán)境之中。

 

德信致遠組裝式潔凈室


那么,潔凈室是如何隔斷污染源,確保半導(dǎo)體的生產(chǎn)環(huán)境是潔凈的呢?下面我們因組裝式潔凈室為例為您具體介紹分析。

 

半導(dǎo)體在生產(chǎn)過程中大的污染源就是從潔凈室外部進入潔凈室內(nèi)的人流與物流污染,所以組裝式潔凈室在進口處配備了風(fēng)淋室。風(fēng)淋室的作用是去除人員及貨物上的塵埃顆粒、毛屑等污染源,組裝式潔凈室內(nèi)部安裝了FFU風(fēng)機過濾機組,進行潔凈新風(fēng)的輸送。這兩大硬件凈化設(shè)備一為組裝式潔凈室阻絕了污染源,二為組裝式潔凈室提供了潔凈空氣,可以說是組裝式潔凈室的主要構(gòu)成。


在半導(dǎo)體芯片的生產(chǎn)規(guī)程中、機器的運轉(zhuǎn),人員的走動也會產(chǎn)生或帶動污染物的流轉(zhuǎn),組裝式潔凈室還要設(shè)計一定的氣流組織確保被污染的空氣不會向潔凈區(qū)流轉(zhuǎn)。組裝式潔凈室的風(fēng)機過濾機組布置在頂棚,空氣斷面上的流速比較均勻,而使氣流流向單向平行,靠推出的作用將室內(nèi)臟空氣沿整個斷面排至架空地板或側(cè)墻下部設(shè)的回風(fēng)口再回至循環(huán)風(fēng)機,這種上送下回或上送下側(cè)回的氣流流型可以使污染空氣快速排出室外而不會交叉污染到組裝式潔凈室內(nèi)其它工作區(qū)域。

 

另外,組裝式潔凈室的智能實時監(jiān)測系統(tǒng)與傳統(tǒng)潔凈室相比在潔凈度維護上面更為簡便智能。組裝式潔凈室內(nèi)安裝的傳感器將檢測數(shù)值直接以數(shù)字形式顯示在智能控制屏上,智能系統(tǒng)控制會判斷塵埃顆粒及溫濕度是否在標準范圍之內(nèi),超出則會控制FFU、空調(diào)等設(shè)備進行自動調(diào)節(jié),使之恢復(fù)到規(guī)定范圍之內(nèi)。

經(jīng)過以上介紹,相信你已經(jīng)對組裝式潔凈室與半導(dǎo)體行業(yè)的相互關(guān)系有了一定的了解。中國半導(dǎo)體行業(yè)目前正在遭受沖擊,這也從側(cè)面反映了技術(shù)與設(shè)計的重要性,中國半導(dǎo)體行業(yè)還有很長的路要走。組裝式潔凈室與半導(dǎo)體息息相關(guān),榮辱與共,未來也將攜手為伍,一起突破前路上的艱難險阻,臨難不避,贏得未來!

 

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